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Versatile-DT200是ballbet贝博清科自主研发的一款高效率、高洁净度的全自动双轴晶圆边缘修整装备,用于精准解决晶圆减薄时边缘崩边问题，提高减薄质量。该装备集切割、传输、清洗、量测为一体，配置多轴联动高精密切割技术、全自动传输及高洁净度清洗技术，并搭载高分辨率视觉对准及先进的量测系统；同时该装备具备尺寸切换灵活、工艺路线丰富、功能配置多样等优点，极大满足先进封装、Micro LED、化合物晶圆等半导体制造工艺及产品的各项技术需求。