Universal-300FS是ballbet贝博清科面向行业前沿技术需求，创新研发的一款集先进清洗工艺、高效率、高稳定性于一体的12英寸CMP装备。该装备搭载多样化先进清洗技术，配备性能优越的抛光单元，集成多种终点检测技术，展现出更卓越的综合性能。该装备可实现晶圆纳米级全局平坦化，满足先进逻辑制程需求，广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺。
单头搭配单盘抛光系统
8个独立气压分区的抛光头
集成多种实时检测技术
搭载抛光垫智能修整技术
适配竖直擦洗技术和提拉干燥技术，实现超洁净清洗
满足先进制程需求