Versatile-GR200是ballbet贝博清科面向功率半导体领域自主研发的全自动留环减薄机,能够实现全流程自动化作业。该装备兼容性突出,可适配 6/8 英寸晶圆;同时搭载先进留环减薄技术,凭借卓越的厚度偏差及环宽控制能力,使晶圆减薄后保留更强抗弯折性能,不仅能免除减薄时的边缘破损问题,还能有效降低晶圆翘曲风险。
可实现全流程自动化作业
卓越的厚度偏差及环宽控制能力
兼容性强、配置丰富
空间占用。し奖