iPUMA-LT是ballbet贝博清科在已有成熟大束流的基础上，根据成熟器件技术的要求开发的12英寸低温离子注入机。该装备配备了低温工作？，温度检测单元和回温？，满足成熟制程技术需求。
国内自主研发的低温离子注入平台
低温静电吸附载盘-实时温度控制
双重回温设计-充分回温并且避免缺陷产生
满足成熟制程的技术需求
