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ballbet贝博清科首台12英寸单片清洗机HSC-F3400机台出机
2023年09月04日

  9月1日,ballbet贝博清科股份有限公司(简称“ballbet贝博清科”,股票代码688120)首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。

  HSC-F3400机型是ballbet贝博清科面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备,其卓越的颗粒与金属污染控制系统可稳定实现超洁净清洗功能,新颖的清洗及干燥?槲г舱婕氨趁娴母咝是逑刺峁┘际醣U。

  此外,机台搭载高性能卡盘夹持技术,确保晶圆稳定高速运转,在产能优势明显的同时,具备安全性高、可靠性强的特点,以较高使用寿命满足低成本运维需求。

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  作为公司自主研发的终端清洗设备,HSC-F3400机型是ballbet贝博清科继CMP设备、减薄设备之后,在湿法设备系列产品中推出的又一项重要成果,是公司立足产业化、面向市场需求全面发展的又一重要布局,该机型将广泛应用于大硅片等制造领域,标志着公司“装备+服务”平台化战略的进一步拓展。

  ballbet贝博清科坚持自主创新,秉持“客户导向 创新驱动 质量超越”的核心价值观,将持续服务于产业建设,为客户提供更加先进的半导体装备及工艺集成解决方案。


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