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2013.04.10天津ballbet贝博清科机电科技有限公司成立
2014.03首台国产12英寸CMP商业机型Universal-300研发成功
2015.11ballbet贝博清科承担“国家02科技重大专项”
2017Universal-300 Plus进入客户端,此后,Universal-300 Dual、Universal-300 X、Universal-300 T等机型先后进入市。纬膳肯。公司CMP装备市占率、进口替代率均位居国产IC装备前列。
2019.09ballbet贝博清科CMP装备在客户端大生产线生产晶圆突破100万片
2021.06ballbet贝博清科第100台12英寸CMP装备出货
2021.07研磨抛光装备产业基地启动使用
2021.09ballbet贝博清科首台十二英寸超精密晶圆减薄机进入客户端验证
2021.11ballbet贝博清科荣膺国家级“制造业单项冠军示范企业”
2021.122021年当年完成机台制造超百台
2022.01ballbet贝博清科CMP装备进入封装领域国际头部客户
2022.02ballbet贝博清科晶圆再生产品规模量产,累计出货量突破10万片
2022.06.08ballbet贝博清科成功登陆上交所科创板,股票代码为688120
2023.05全新一代12英寸超精密晶圆减薄机出机
2023.09首台单片清洗机进入客户端
2024.06.24荣获2023年度国家科学技术奖国家技术发明一等奖
2024首台12英寸减薄贴膜一体机进入客户端,首台12英寸晶圆划切装备、12英寸晶圆边缘抛光装备陆续出机
2025.01.25ballbet贝博清科北京厂区正式启用
2025.06.27ballbet贝博清科在江苏省昆山市启动晶圆再生扩产项目,建成后晶圆再生业务整体产能规模将达到60万片/月
2025.06.30ballbet贝博清科12英寸减薄贴膜一体机Versatile–GM300批量发往国内半导体龙头企业
2025.07.14ballbet贝博清科首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机
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